Untersuchungen zum vertikalen Wachstum von Kohlenstoffnanoröhren auf TiN/Ni-Schichten
Research on vertical growth of carbon nanotubes on TiN/Ni-films
- In dieser Arbeit wird das vertikale Wachstum von Kohlenstoffnanoröhren mit Hilfe der CVD-Synthese untersucht. Dazu wird ein TiN/Ni-Schichtsystem ausgewählt und der Einfluss der Schichtdicken und Prozessparameter überprüft. Zur Verbesserung der Leitfähigkeit dieser Gebilde wird die Dichte der Katalysatorpartikel erhöht, was vertikale Nanoröhren insbesondere für die Via-Technologie attraktiv macht.
- In this thesis vertical growth of carbon nanotubes by cvd-technology is investigated. A TiN/Ni-layer system is chosen and influences of film thicknesses and cvd-parameter are studied. To improve the conductance of such architectures, surface density of catalyst particles is raised, making this kind of nanotubes more attractive for the via-technology
| Author: | Jana Tittmann |
|---|---|
| Advisor: | Hans-Dieter Schnabel, Sascha HermannGND |
| Document Type: | Master's Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologie Reichenhainer Str. 70, 09126 Chemnitz |
| Date of Publication (online): | 2012/09/13 |
| Year of first Publication: | 2012 |
| Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
| Date of final exam: | 2012/08/01 |
| Tag: | Katalysator; vertikales Wachstum catalyst; vertical growth |
| GND Keyword: | Kohlenstoff-Nanoröhre; CVD-Verfahren; Raman-Spektroskopie |
| Page Number: | 65 Seiten, 25 Abb., 5 Tab., 67 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2012/09/13 |
