Herstellung und Charakterisierung von PDMS- Stempeln für das Nanoimprinverfahren
- In dieser Arbeit geht es um die Herstellung und Charakterisierung von PDMS- Stempelfamilien. Es wurden mehrere Stempelfamilien mit unterschiedlichen Strukturen hergestellt. Diese Stempelstrukturen wurden auf Ihr Abrissverhalten hin untersucht. Der Abrisstest erfolgte über eine eigens dafür konstruierte Apparatur. Eine charakteristische Oberflächenanalyse erfolgt durch den Einsatz eines Rasterelektronenmikroskops. Die ver-schiedenen Strukturen wurden auf ihre Abrisskraft und ihre Oberflächenbeschaffenheit mit-einander verglichen. Um eine genaue Auswertung zu erhalten, fanden die Vergleiche der Ergebnisse zwischen einem Masterstempel und einem Moldstempel statt. Die Ergebnisse wurden grafisch dargestellt und ausgewertet.
Author: | Sebastian Sörgel |
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Advisor: | Daniel SchondelmaierGND, Eberhard Schröter |
Document Type: | Bachelor Thesis |
Language: | German |
Name: | WHZ, Nanolab Jacob-Leupold-Bau, Zimmer 129, 08056 Zwickau |
Date of Publication (online): | 2018/02/22 |
Year of first Publication: | 2016 |
Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
Date of final exam: | 2016/03/14 |
Tag: | PDMS |
GND Keyword: | Rasterelektronenmikroskop; Nanoprägen; Kraftmessung |
Page Number: | 38 Seiten, 35 Abb., 1 Tab., 17 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2018/02/22 |