Herstellung und Charakterisierung von PDMS- Stempeln für das Nanoimprinverfahren

  • In dieser Arbeit geht es um die Herstellung und Charakterisierung von PDMS- Stempelfamilien. Es wurden mehrere Stempelfamilien mit unterschiedlichen Strukturen hergestellt. Diese Stempelstrukturen wurden auf Ihr Abrissverhalten hin untersucht. Der Abrisstest erfolgte über eine eigens dafür konstruierte Apparatur. Eine charakteristische Oberflächenanalyse erfolgt durch den Einsatz eines Rasterelektronenmikroskops. Die ver-schiedenen Strukturen wurden auf ihre Abrisskraft und ihre Oberflächenbeschaffenheit mit-einander verglichen. Um eine genaue Auswertung zu erhalten, fanden die Vergleiche der Ergebnisse zwischen einem Masterstempel und einem Moldstempel statt. Die Ergebnisse wurden grafisch dargestellt und ausgewertet.

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Metadaten
Author:Sebastian Sörgel
Advisor:Daniel SchondelmaierGND, Eberhard Schröter
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Name:WHZ, Nanolab
Jacob-Leupold-Bau, Zimmer 129, 08056 Zwickau
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2016
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2016/03/14
Tag:PDMS
GND Keyword:Rasterelektronenmikroskop; Nanoprägen; Kraftmessung
Page Number:38 Seiten, 35 Abb., 1 Tab., 17 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2018/02/22