Der Einfluß der Biasspannung und des Totaldruckes auf die Eigenschaften reaktiv gesputteter Titannitridschichten.

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Metadaten
Author:Eberhard Schröter
Document Type:Doctoral Thesis
Language:German
Year of first Publication:1989
Granting Institution:Technische Hochschule Zwickau
Tag:Dissertation
Page Number:XIII, 99 S.: Abb.
Note:
Signatur 1: Q 2778
Note:
Anzahl Exemplare: 2
Faculty:Technische Hochschule Zwickau
Release Date:2018/12/19