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Die Bachelorarbeit beschäftigt sich mit einem PVD-Kombinationsverfahren in einer Drehtrommelanlage, zur Abscheidung von metallischen Schichten auf Kleinteilen, die als Schüttgut behandelt werden. Das Verfahren baut auf einer Technologieentwicklung zur plasmaaktivierten Hochratebedampfung plus Puls-Magnetron-Sputtern auf. Es dient dazu Korrosionsschutzschichten als Multilagen- bzw. Legierungsschicht abzuscheiden. Bei der etablierten Abscheidung mehrlagiger Korrosionsschutzschichten werden die PVD-Verfahren abwechselnd betrieben. Für die Erzeugung von Legierungsschichten wurden erstmals beide physikalischen Verdampfungsprozesse parallel gefahren, im Hinblick auf die gezielte Variation der Schichtzusammensetzung zur Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit. Anhand der Ergebnisse der Einzelprozesse, Aluminiumbedampfung und Magnetronsputtern, wurden Prozessabläufe für die Abscheidung von Legierungsschichten etabliert und die Schichtdickenverteilung für die verschiedenen Legierungszusammensetzungen bestimmt.
Die vorliegende Masterarbeit beschäftigt sich mit dem Verfahren der thermischen Hochrateverdampfung zur Abscheidung von aluminiumbasierten Schichten auf Kleinteilen, die als Schüttgut behandelt werden. Realisiert wird dies mit der am Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) entwickelten Versuchsanlage ALMA 1000. Die Anlage vereint zwei physikalische Dampfabscheidungs-prozesse (engl.: physical vapor deposition