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Die Verknappung und Verteuerung fossiler Energieträger, die Notwendigkeit zur Reduzierung von CO2 Emissionen und die eingeleitete Energiewende treiben gegenwärtig die Entwicklung regenerativer Energiequellen und von Energieeffizienztechnologien an. Durch thermoelektrische Generatoren ließe sich ein Teil der in technischen Prozessen als Abwärme verlorengehenden Primärenergie wieder in nutzbare Elektrizität verwandeln. Ein Schwerpunkt der aktuellen Materialforschung ist die Entwicklung neuartiger thermoelektrischer Materialien für erhöhte Arbeitstemperaturen, mit verbessertem Wirkungsgrad und auf Basis verfügbarer, preiswerter Elemente. Für eine großtechnische Nutzung thermoelektrischer Module sind jedoch ebenso wirtschaftliche Herstellungsverfahren zu entwickeln. Die Elektronenstrahl-Hochratebedampfung kann zu Fortschritten in diesen Problemkreisen beitragen. Im Rahmen dieser Arbeit wurde die Möglichkeit einer Abscheidung von Skutterudit-Schichten mittels Elektronenstrahl-Koverdampfung am Beispiel von CoSb3 untersucht. Dabei wurde nachgewiesen, dass sich Cobalt und Antimon prinzipiell aus energetisch besonders effizienten, heißen Tiegeln aus Bornitrid verdampfen lassen. Für die beiden Komponenten wurden angepasste Strahlablenk-Pattern entwickelt, die ihrem spezifischen Verdampfungsverhalten Rechnung trugen und die Abscheidung annähernd stöchiometrischer Schichten erlaubten. Die Form der Dampfstromdichteverteilung wurde gemessen und die daraus zu erwartende Variation der Schichtzusammensetzung in der Substratebene als Grundlage für ein Verfahren zur