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Ziel der vorliegenden Arbeit ist die elektrochemische Erzeugung von reaktiven Mehrschichtsystemen (RMS) aus der Einbadtechnik basierend auf dem System Palladium/Zinn. Durch die Charakterisierung der Elektrolyte mittels Stromdichte- Potential- Kurven (SPK) konnte gezeigt werden, dass Parameter wie z.B. Homogenisierungsdauer und Umwälzung Einfluss auf die Stabilität des Elektrolyten haben. Des Weiteren wurde nachgewiesen, dass die Rührgeschwindigkeit des Elektrolyten bei der Abscheidung einen wesentlichen Einfluss auf die Schichtzusammensetzung hat. Legierungsschichten unterschiedlicher Zusammensetzung konnten durch das Variieren des Potentials und der Konvektion hergestellt werden. Im Rahmen dieser Arbeit konnte keine Stapelung der einzelnen Schichten erfolgreich durchgeführt werden. Für die Herstellung von Mehrschichtsystemen sind daher noch weitere Untersuchungen notwendig.
Die vorliegende Arbeit beschreibt die elektrochemische Abscheidung von Aluminium aus ionischen Flüssigkeiten. Ionische Flüssigkeiten sind unterkühlte Salzschmelzen, welche bei weniger als 100 °C flüssig sind. Durch die Verwendung solcher Flüssigkeiten als Elektrolyte ist es möglich auch Metalle und Legierungen galvanisch abzuscheiden, welche ein negatives Standardpotential gegenüber Wasserstoff aufweisen. Somit ist die Abscheidung von Al, Ti, Li und La möglich. Metalle, die aus wässrigen Elektrolyten abgeschieden werden, können zusätzlich aus diesen Elektrolyten reduziert werden. Dazu zählen z. B. Cu, Ni, Pd und Ag. Ziel dieser Arbeit ist die Herstellung von galvanisch abgeschiedenen Al-Schichten aus der ionischen Flüssigkeit 1-Ethyl-3-Methylimidazolium-Chlorid. Das elektrochemische Verhalten des Elektrolyts wird charakterisiert. Die anschließende Abscheidung erfolgt auf Si-Substraten mit unterschiedlichen Startschichten (Cu, Au) und verschiedenen Abscheideparameter. Die hergestellten Schichten werden hinsichtlich ihrer Mikrostruktur, den elektrischen Eigenschaften, der Drahtbondfähigkeit und der Haftung zum Substrat untersucht und bewertet.