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- 2010 (1)
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- Diploma Thesis (1)
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Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Entwicklung eines Vakuumhandlingsystems für Solarzellen, welches in ein bestehendes Anlagenkonzept integriert werden soll. Aufgabe dieses Handlingsystems ist es, die Substratbestückung einer Plasmaprozesskammer in einer seriennahen Pilotanlage für die Solarzellenfertigung zu realisieren. Nach der Betrachtung der nötigen physikalischen Grundlagen erfolgt die Analyse der Randbedingungen und der Anforderungen an das Handlingsystem. Auf deren Basis werden verschiedene Lösungsvarianten entwickelt, bewertet und eine Variante als günstigste ausgewählt. Anschließend erfolgt die konstruktive Umsetzung der Vorzugsvariante. Hierfür wird das Handlingsystem in Funktionsbaugruppen zerlegt, um eine systematische Gestaltung der Teilfunktionen zu erleichtern. Ergebnis der Untersuchungen ist ein funktionsfähiger konstruktiver Entwurf des Handlingsystems, wobei die Randbedingungen eingehalten und die gestellten Anforderungen erfüllt werden. Er beinhaltet neben den erforderlichen Berechnungen die Zusammenbauzeichnungen der Gesamtkonstruktion und die Stückliste.