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- 2001 (1)
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- Diploma Thesis (1)
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Amorphe Kohlenstoffschichten werden als Korrosions- und Verschleißschutzschichten in Festplattenlaufwerken eingesetzt. Die rapide steigenden Speicherdichten setzen in naher Zukunft Schichtdicken von nur 2 nm voraus. Die momentan verwendeten Schichten werden durch das Magnetron-Sputterverfahren hergestellt. Dieses ist aber für ultradünne Schichten ungeeignet. In der vorliegenden Diplomarbeit wird die Herstellung von ultradünnen Kohlenstoffschichten mittels dem am Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnologien Braunschweig entwickelten Netzhohlkathodenverfahren beschrieben und die daran durchgeführten Untersuchungen dargelegt.