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Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung eines Systems zur Pulsformanalyse kurze Pulse eines Excimerlaser. Mit diesem System soll eine Echtzeitmessung umgesetzt werden um die Betriebsparameter des Lasers während des Prozesses anpassen zu können. Dazu wurden verschiedene Detektoren und Detektormaterialen miteinander verglichen. Außerdem wurde ein schneller Silizium-Carbid Fotodetektor entwickelt, der für den UV-Bereich hervorragende spektrale Eigenschaften besitzt. Des Weiteren wurden die Pulse des Excimerlasers ausgewertet und ein darauf abgestimmtes Messsystem zusammengestellt.
Die vorliegende Masterarbeit gibt einen Überblick über die Entwicklung einer multispektralen
Lichtquelle, welche aus 40 Highpower Leuchtdioden aufgebaut ist. Dazu wurden
die eingesetzten Dioden sowohl unter leistungstechnischen, als auch spektralen Gesichtspunkten
untersucht. Dies wurde bei verschiedenen Temperaturen und Stromstärken der
Leuchtdioden durchgeführt. Ein weiterer wichtiger Schritt war die Wahl der geeigneten
Einkoppelvariante. Evaluiert wurde dazu mehrere Kopplungsvarianten, wie zum Beispiel
eine integrierende Sphäre, ein Fasercombiner und eine direkte Faserkopplung mit Glas -
und Polymerfasern. Zur Mischung wurde ein Homogenisierer eingesetzt und untersucht.
Auf Grundlage der Voruntersuchungen wurde eine funktionierende multispektrale Lichtquelle
aufgebaut und dessen Anwendbarkeit in praktischen Untersuchungen bestätigt