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Diese Arbeit handelt von der röntgenografischen Dichtemessung mittels Röntgenreflektometrie an gesputterten AlN-Schichten am D8 Discover von Bruker und der Auswertung der Messergebnisse. Desweiteren geht es um röntgenografische Spannungsmessungen an ebenfalls gesputterten AlN-Schichten und deren Messergebnisse. Ebenso wurden Texturmessungen an im Vakuum aufgedampften Silberschichten durchgeführt.
In dieser Arbeit wurden galvanische Nickelschichten mit unterschiedlichen Parametern hergestellt. Diese Schichten wurden dann röntgenografisch auf Makroeigenspannungen, Textur, Korngröße und Mikroverzerrungen hin untersucht. Dies geschah sowohl global als auch lokal, um mögliche Inhomogenitäten bestimmen zu können. Ebenso wurde geprüft, inwiefern der bei der Herstellung entstandene Wasserstoff in der Schicht röntgenografisch erfasst und bestimmt werden kann.