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In der heutigen Zeit wird es immer wichtiger, die Schichtparameter von abgeschiedenen Schichten zu erfassen, ohne dabei die funktionellen Schichten zu beschädigen und somit die Ausbeute zu verringern. Dafür wird immer häufiger auf Analyseverfahren zurückgegriffen, die auf Röntgenstrahlung basieren. Diese haben die Vorteile, dass es eine breite Auswahl an gut beherrschten Verfahren gibt. In dieser Arbeit wird die Auswirkung der Variation von ALD - Prozessparametern auf die entstehenden Wolfram - ALD - Schichten untersucht. Diese Schichten sollen später Röntgenoptiken verwendet werden. Dies wird über innseitig beschichtete Glaskapillare erfolgen. Um eine möglichst hohe Reflektivität zu erzielen, werden die Schichten mit Hilfe der Röntgenreflektometrie untersucht. Für eine bessere Interpretation werden zudem noch weitere Charakterisierungsverfahren hinzugezogen. Es gelang einige Tendenzen zwischen den ALD - Prozessparametern und den entstandenen Schichten festzustellen. Des Weiteren wurden noch Experimente zur Oberflächenbehandlung und verschiedene Schichtaufbauten durchgeführt welche gute Ergebnisse erzielten.
Im Jahr 1986 wurde der erste 3D-Drucker patentiert. Die Technik des 3D-Drucks realisierte der Industrie völlig neue Möglichkeiten, Bauteile herzustellen. Mit den zuvor bekannten Herstel-lungsmethoden konnten diese entweder gar nicht oder lediglich mit großem Aufwand und hohen Kosten hergestellt werden. Im Laufe der Zeit entwickelte sich die Technik des 3D-Drucks immer weiter. Diese Weiterentwicklungen beziehen sich hauptsächlich auf zwei Bereiche: zum einen auf die Erweiterung der verwendbaren Materialien, zum anderen in Bezug auf den ei-gentlichen Bauprozess. Hierbei wurde sich auf die Baugeschwindigkeit, Baufläche sowie Auf-lösung der Bauteile konzentriert. Das Alleinstellungsmerkmal der Firma 3D MicroPrint GmbH liegt im Bereich der Auflösung. Damit ist gemeint, dass immer kleinere und feinere Strukturen hergestellt werden sollen. In dieser Arbeit wird einerseits das Grundmaterial, metallisches Pulver, untersucht. Diese Untersuchung bezieht sich auf vier verschiedene metallische Pulver: Titanbasis, Eisenbasis, Molybdänbasis sowie Wolframbasis. Bei der Untersuchung dieser Pulver soll der Zusammenhang zwischen den rheologischen und den beschichtungsrelevanten Eigenschaften gefunden werden. Andererseits werden aus den gegebenen Pulvern Testkörper hergestellt und deren Eigenschaften analysiert. Die Ergebnisse beider Untersuchungen werden letztendlich verknüpft, um deren Auswirkung auf den 3D-Druckprozess aufzuzeigen. In