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Konstruktion und Aufbau eines Interferenzmikroskopes mit integriertem Verschiebeinterferometer
(2010)
Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Konstruktion und dem Aufbau eines speziellen Messgerätes, welches es ermöglicht Höhenwerte mit mehreren hundert µm Stufenhöhen interferometrisch rückgeführt und hochaufgelöst zu bestimmen. Dazu wurde ein neuer Ansatz gewählt und mehrere Messgeräte miteinander kombiniert. Zunächst wird kurz auf die Geschichte der Inteferomerie eingegangen und im Kapitel