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Gegenstand der Arbeit ist die Untersuchung von Plasmaparametern einer Dielektrika-Trockenätzanlage AMAT Centura Super-e für die Halbleiterproduktion mittels des SEERS-Systems Hercules® APC. Mittels statistischer Versuchsplanung werden die Einstellgrößen Leistung, Druck, magnetischer Fluss sowie die Gasflüsse variiert und der Einfluss auf Elektronenstoßrate, Elektronendichte und Ätzraten analysiert. Es zeigen sich nichtlineare Abhängigkeiten in den Plasmaparametern. Die Charakterisierung der Ätzprozesse der Super-e erfolgt anhand von Plasmadaten aus 4 Monaten Produktion. Die Plasmaparameter sind über die Rezepte determiniert und zeigen Streuverhalten. Die Daten werden zudem auf Korrelationen zu bekannten Einflussgrößen untersucht. Über die Plasmastunden der Kammer ergibt sich eine Langzeitdrift. Diese bildet sich auch in den Ätzraten und dem Ätzprofil ab. Es lassen sich zudem Kurzzeitdrifts durch Prozessinteraktionen aufzeigen und Produktabhängigkeiten beobachten.
In dieser Arbeit werden die Temperaturen von elektrochemischen Gassensoren mittels drei verschiedener Temperaturmessverfahren experimentell bestimmt. Die Sensortem-peraturen sollen Widerstandsverhältnissen von Platinwiderständern zur Heizungsregelung zugeordnet werden. Eine Berechnung des Zusammenhanges wird mittels temperaturabhängigen elektrischen Widerstand sowie elektrochemischer Reaktionen ver-sucht. Als Messverfahren kommen die Thermographie, Mikrothermoelemente und die Messung mit Mantelthermoelemente im Ofen zum Einsatz. Es konnte gezeigt werden, dass die Messung im Ofen zu niedrige Temperaturmesswerte erzeugt. Thermographie und Mikrothermoelemente liefern annähernd gleiche Werte. Damit konnten der gesuchte Zusammenhang zwischen Widerstandsverhältnis und Sensortemperaturen bestimmt werden.