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- 1995 (1)
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- Diploma Thesis (1)
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Die notwendigen konstruktiven Maßnahmen an den Sputterquellen, sowie die auftretenden Effekte beim Mittelfrequenz-Magnetronsputtern werden beschrieben und diskutiert. Als Modellsystem wurde Kupfer untersucht. Die Arbeit beinhaltet eine vergleichendes Zusammenstellung der Herstellungstechnologien. <!-- #h:dissdiplHochdrucksputtern.doc# -->