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- 2009 (1)
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- Diploma Thesis (1)
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Die Arbeit befasst sich mit der Herstellung von elektrochemisch abgeschiedenen Cu-Schichten, die mit den senkrecht zur Substratoberfläche ausgerichteten CNTs verstärkt wurden. Die Herstellung der CNTs erfolgte unter Anwendung eines thermischen CCVD-Prozesses. Es wurde dabei der Einfluss von unterschiedlichen Unterlagen-, Katalysatormaterialen, der Art der Katalysatordeposition und Trägergase auf das CNT-Wachstum untersucht. Zusätzlich wurden unterschiedliche Methoden zur CNT-Funktionalisierung getestet und die Veränderungen der einzelnen Functionalisierungsgruppengehalte mit Hilfe von XPS analysiert. Die Cu-Abscheidung erfolgte auf dei CNT-beschichtete Substrate. Die Analyse der Cu-Kompositschichten erfolgte mit Hilfe von REM, FIB und TEM.