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Piezoresistive Drucksensoren werden in vielen Bereichen der Industrie eingesetzt. Um Drucksensoren charakterisieren zu können, wurde ein Druckmeßplatz aufgebaut . Mit Hilfe eines Autofokusmikroskop wurde über die mechanische Druckbiegung Sigma und das Young's Modul bestimmt. <!-- #h:dissdiplDrucksensoren.doc# -->