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Im ersten Abschnitt dieser Masterarbeit werden theoretische Betrachtungen zum Trocknungsverhalten dicker Photoresistschichten durchgeführt. Nach Konditionierung der vorliegenden Messdaten eines innovativen, gravimetrisch gesteuerten Infrarot-Trocknungssystems werden die Kurvenanpassungen der gewonnen Berechnungsgleichungen durchgeführt. Betrachtungen hinsichtlich verschiedener Trocknungstemperaturen ergeben eine eindeutige, exponentielle Temperaturabhängigkeit des Diffusionskoeffizienten. Zusammenfassend können die gewonnenen analytischen Ansätze zur Beschreibung der diffusionsdominierten Trocknungsphase als geeignet angesehen werden. Im zweiten Abschnitt dieser Masterarbeit wird ein Simulationstool zur analytischen Beschreibung der Eigenfrequenz eines beladenen Cantilevers in der VBA-Programmierumgebung des Softwarepaket MS Excel® entwickelt. Ein Abgleich gemessener und berechneter Eigenfrequenzen zeigen eine äußerst zufriedenstellende Korrelation und damit die Anwendbarkeit des vorgestellten Berechnungstools.
Die Diplomarbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung einer hybriden Methodik zur Charakterisierung des thermischen und/oder mechanischen Belastungsverhaltens von MEMS-Basiskomponenten, hergestellt im MEMSLab der WHZ. Dabei werden sowohl unterschiedliche Messverfahren untereinander als auch Experiment und Simulation miteinander gekoppelt und auf ihre Anwendbarkeit untersucht. Ein modular aufgebautes Prüfstandsmodul, inklusive anwendungsspezifisch entwickelter Heizelemente, wird konzipiert, gebaut und erfolgreich eingesetzt. Die gewonnenen Messergebnisse werden zur Abstimmung und Verifizierung von parallel aufgebauten FE-Modellen genutzt. Durch die Darlegung der analytischen Grundlagen der betrachteten Problemstellungen und den Aufbau von parametrisierten Berechnungsmodellen werden flexible Simulations- und Modellanpassung ermöglicht. Damit steht ein leistungsfähiges Werkzeug zur Identifikation von anwendungsspezifischen Optimierungspotenzialen an MEMS-Strukturen zur Verfügung, welches im Rahmen der Diplomarbeit an drei ausgewählten Strukturen zum Einsatz kommt. Ein Ausblick auf Erweiterungs- und Optimierungspotenziale der vorgestellten Methode schließt die Arbeit ab.