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- 2009 (1)
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- Diploma Thesis (1)
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In dieser Diplomarbeit werden nun mögliche Ursachen für die Nonuniformität der Tiefenätzung untersucht, welche direkt oder indirekt mit der HF-Einkopplung durch die Hochfrequenzspule zusammen hängen. Dabei werden auch die Ergebnisse einer Magnetfeldmessung der Spulen mit dem Ätzbild der Tiefenätzung verglichen und mögliche qualitative Übereinstimmungen gesucht. Es wird eine konkrete Lösung im Sinne der Problemstellung dargestellt.