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Die Aufgabe dieser Diplomarbeit besteht in Konzeption aund Aufbau der Strahlaufbereitung sowie des Signaldetektions- und Aufbereitungssystems zur hochempfindlichen Messung des totalen Streulichts mittels Coblentzkugel im tiefen ultravioletten Spektralbereich (157 nm und 193 nm). Es werden Konzepte der optischen Strahlaufbereitung für die Verwendung der Strahlungsquellen Deuteriumlampe und Excimerlaser entwickelt und umgesetzt. Die starke Strahlungsabsorption bei 157 nm durch Sauerstoff macht es erforderlich, die Strahlführung im Vakuum oder unter Spülgas durchzuführen. Es erfolgen Abschätzungen zum erforderlichen Vakuumenddruck bzw. zur Spülgasreinheit. Die Möglichkeiten der Detektion und Aufbereitung des Streulichtsignals bei Bestrahlung der Probe mit Nanosekunden-Excimerlaserpulsen werden diskutiert. Im Ergebnis wird ein System zur Signalintegration konzipiert und getestet. Auftretende Probleme sowie entsprechende Lösungsansätze werden erörtert. Zur besseren Anpassung der hohen Leistung der Laserstrahlung an den Empfindlichkeitsbereich des Detektors sowie zur Erhöhung des Dynamikbereichs des Meßsystems wird ein variables Abschwächersystem konstruiert und eingesetzt. Es folgt die Erprobung der entwickelten Komponenten im Gesamtsystem. Erste Streulichtmessungen bei 157 nm werden an verschiedenen optischen Komponenten unter Verwendung beider Strahlungsquellen durchgeführt. Die entsprechenden Nachweisgrenzen bei der Messung des totalen Streulichts werden bestimmt.