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Electron Backscatter Diffraction (EBSD) ist ein in Verbindung mit der Raster-Elektronen-Mikroskopie (REM) zugängliches Verfahren, bei dem lokal über dem jeweils mit dem Elektronenstrahl angesteuerten Punkt auf der Probenoberfläche Elektronen-Beugungsmuster gewonnen werden. Aus diesen Elektronen-Beugungsmustern ist es möglich Erkenntnisse zur kristallinen Struktur des Festkörpers zu erhalten. Um Tiefeninformationen zur kristallinen Struktur zu gewinnen, ist es notwendig die Probe Schicht für Schicht abzutragen und mittels EBSD zu untersuchen. Fragen zur Problematik der Schichtabtragsmessung wurden erörtert. Es erfolgte eine Untersuchung verschiedener Verfahren auf ihre Handhabung sowie Messunsicherheit (s. Kapitel 5). Die Qualität einer EBSD-Messung ist abhängig von der Probenpräparation sowie den Parametereinstellungen der verwendeten Messtechnik. Es erfolgte eine Optimierung dieser beiden Punkte (s. Kapitel 4, 6, 7). Untersuchungen mittels EBSD wurden durchgeführt. Durch die erhaltenen Informationen wurde versucht Rückschlüsse auf das Kristallwachstum zu ziehen. Als Ergebnis der vorliegenden Untersuchungen konnte gezeigt werden, dass die Orientierung einer kristallinen Phase über ein großes Volumen und somit entsprechend viele Schichten konstant ist.
Electron Backscatter Diffraction (EBSD) ist ein in Verbindung mit der Raster-Elektronen-Mikroskopie (REM) zugängliches Verfahren, bei dem lokal über dem jeweils mit dem Elektronenstrahl angesteuerten Punkt auf der Probenoberfläche Elektronen-Beugungsmuster gewonnen werden. Aus diesen Elektronen-Beugungsmustern ist es möglich Erkenntnisse zur kristallinen Struktur des Festkörpers zu erhalten. Um Tiefeninformationen zur kristallinen Struktur zu gewinnen, ist es notwendig die Probe Schicht für Schicht abzutragen und mittels EBSD zu untersuchen. Fragen zur Problematik der Schichtabtragsmessung wurden erörtert. Es erfolgte eine Untersuchung verschiedener Verfahren auf ihre Handhabung sowie Messunsicherheit (s. Kapitel 5). Die Qualität einer EBSD-Messung ist abhängig von der Probenpräparation sowie den Parametereinstellungen der verwendeten Messtechnik. Es erfolgte eine Optimierung dieser beiden Punkte (s.Kapitel 4, 6, 7). Untersuchungen mittels EBSD wurden durchgeführt. Durch die erhaltenen Informationen wurde versucht Rückschlüsse auf das Kristallwachstum zu ziehen. Als Ergebnis der vorliegenden Untersuchungen konnte gezeigt werden, dass die Orientierung einer kristallinen Phase über ein großes Volumen und somit entsprechend viele Schichten konstant ist.