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- 2015 (1)
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- Master's Thesis (1)
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Für die Charakterisierung von Indium-Zinn-Oxid-Schichten in der industriellen Produktion von Heterojunction-Solarzellen wird eine Messprozedur benötigt, die den Anforderungen einer solchen Produktion gewachsen ist. Zum einen ist es notwendig, dass die Genauigkeit und Präzision der verwendeten Messsysteme besser ist, als die Prozessstreuung der Abscheideprozesse. Nur so ist es möglich den Prozess zu kontrollieren. Hierfür werden in der Masterarbeit die Messsysteme mit Hilfe einer Messsystemanalyse untersucht. Zum anderen ist es notwendig, den Eingriff in den Herstellungsprozess so gering wie möglich zu halten. Hierfür werden in der Masterarbeit alternative Messmethoden zur Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften der Indium-Zinn-Oxid-Schichten evaluiert. Als Ergebnis der Masterarbeit wird eine Messprozedur dargelegt, die für die Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften von Indium-Zinn-Oxid-Schichten in der industriellen Produktion von Heterojunction-Solarzellen geeignet ist.