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Für die erfolgreiche Etablierung von Beschichtungsanlagen auf dem wachsenden Weltmarkt der HJT-Solarzellentechnologie ist es wichtig, das Verbesserungspotential einer HJT-Zelle durch die Weiterentwicklung der Anlagen zu nutzen. Der erst seit 2013 erforschte Light-Soaking-Effekt, kurz LS-Effekt, ist dabei von großem Interesse. Dabei wird die HJT-Zelle gezielt mit Licht bestrahlt um Ausheileffekte zu aktivieren, die die Leerlaufspannung erhöhen. Ursache ist vermutlich eine verbesserte Passivierung des Heteroübergangs. So kann der Wirkungsgrad nach 18 Stunden Bestrahlung um bis zu 1,22 % erhöht werden. Diese Prozesszeit ist jedoch nicht wirtschaftlich. Das Ziel der vorliegenden Arbeit ist es deshalb, ein grundlegendes Verständnis für den LS-Effekt zu erarbeiten und aus den gewonnenen Messergebissen Wege für eine Prozesszeitreduzierung zu eröffnen. Es wird herausgearbeitet, dass der LS-Effekt von der Leistungsdichte der Lichtquelle sowie von den Ausgangsbedingungen der HJT-Zelle vor der Bestrahlung abhängt. Die Prozesszeitreduzierung bei gleichbleibender Zellverbesserung ist mit intensiveren Lichtquellen und für den LS-Effekt geeigneten HJT-Zellen möglich.