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Die effektive Verkapselung von flexiblen organischen Leuchtdioden ist ein wichtiger Bestandteil für die Erhöhung der Lebensdauer. Vielversprechend sind hier Nanolaminate, bei denen abwechselnd defektarme, anorganische Barriereschichten und flexible, organische Zwischenschichten hergestellt werden. In dieser Arbeit wurde ein Prozess zur Molekularlagenabscheidung (MLD) der organischen Schicht aus den Edukten Trimethylaluminium und 1,2-Ethandiol entwickelt und optimiert. Der Prozess ermöglicht die Herstellung von dünnen Schichten aus Poly (Aluminiumethandiol) mit einer Dichte von 1,7 g/cm3 und einem temperaturabhängigen Wachstum je Zyklus von 0,1 bis 0,05 nm für Abscheidetemperaturen von 90 bis 150°C. Infrarot- und photoelektronenspektroskopische Untersuchungen weisen auf einen Einbau der Kohlenstoffketten in die Schicht hin. Das Aufwachsen der Schichten erfolgt auf Aluminiumoxid substratverstärkt und zeigt für den verwendeten MLD-Prozess einen ungünstigen Reaktionsmechanismus an.