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Amorphe hydrogenisierte Siliziumnitridschichten gelten als Standard - Antireflexionsschicht bei der industriellen Produktion kristalliner Silizium - Solarzellen. Steigende Anforderungen wie verbesserte Passivierungseigenschaften, verbesserte Dichte der Schicht und geringere Schichteigenspannung erfordern die genaue Kenntnis der Schichtzusammensetzung. In dieser Arbeit wurde die Zusammensetzung und die daraus resultierenden Eigenschaften von den Abscheidungsparametern mittlere Mikrowellenleistung, Druck, Temperatur, Gesamtgasfluss, Gasmischungsverhältnis, Leistung der zusätzlich Hochfrequenz und Pulsparameter einer gepulsten linearen Mikrowellenplasmaquelle mit und ohne zusätzliche Hochfrequenzunterstützung untersucht.