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Bewertung eines Spektrometeraufbaus in Bezug auf die Messung von Interferenzschichten und -schichtsystemen im Vakuum. Mit Fokus auf die Messung und Kontrolle eines Schichtsystems bei der Messung zwischen den Einzelschichten. Der Messaufbau ist auf die Verursacher von systematischen Fehlern und deren Korrekturmöglichkeiten hin untersucht.