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Diese Arbeit beschäftigt sich mit der Dehnbarkeit von gesputterten transparenten Dünnschicht-Elektroden wie Indium-Zinn-Oxid (ITO) und Wasserdampf-Permeationsbarrieren wie Zink-Zinn-Oxid (ZTO) auf Ethylentetrafluorethylen (ETFE) Kunststofffolie. Dabei wird der Einfluss der Rissbildung auf den Widerstand der Elektrodenschichten ermittelt. Diese sollen für die ausreichende Leitfähigkeit für Elektrochrome Zellen und organische Solarzellen sorgen. Aufgrund der Verwendung dieser Zellen im architektonischen Bereich treten hohe mechanische Belastungen auf. Umwelteinflüsse und Anwendung verursachen Dehnungen und Spannungen in den Systemen und können zum Reißen der Schichten führen. Daher wird das Verhalten von Einzelschichten und Schichtsystemen unter Dehnung in dieser Arbeit untersucht.
Allgemein wurde festgestellt, dass die kritischen Dehnungen von ZTO Einzelschichten mit 0,5
Organische Leuchtdioden (OLEDs) gewinnen in der heutigen Zeit immer mehr an Bedeutung. Ihre Flexibilität und die Eigenschaft, über eine konstante Fläche zu leuchten, machen sie für viele Anwendungen interessant. Um sie gegen Umwelteinflüsse zu schützen, werden die OLEDs mit einer möglichst defektfreien Barriereschicht versehen. Durch Defekte in der Schicht kann Wasserdampf hindurch permeieren und das Bauteil zerstören. Daher wird in dieser Arbeit der Einfluss des Reinigungszustands und die Konfiguration der Beschichtungsanlage auf die Defektdichte von gesputterten Zink-Zinn-Oxid Barriereschichten untersucht. Allgemein wurde festgestellt, dass die Defektdichten aller Proben sehr gering und kaum signifikante Unterschiede zu erkennen waren. Bei den ersten Versuchsreihen war die Anlage von anderen vorherigen Prozessen verschmutzt und wies eine höhere Partikeldichte auf. Diese wurden in die Schichten mit eingebaut und erhöhten somit die Defektdichten der ersten Folienrollen im Vergleich zu nachfolgenden Proben. Eine Reinigung der Anlage mit Ethanol sowie das Sandstrahlen von Blechen und Blenden brachte eine geringe Verbesserung der Defektdichten. Die Verwendung einer Vorlaufreinigungsfolie erzielte ebenfalls eine kleine Verringerung der Defektanzahl. Die Wasserdampftransmissionsraten (WVTR) der Schichten lagen alle sehr nah beieinander. Es konnte kein signifikanter Zusammenhang zwischen Reinigungszustand und Barrierewirkung festgestellt werden.