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Solarzellen gelten als Lieferanten sauberen Stromes. Ob deren Herstellung jedoch auch diesem Motto gerecht wird, muss durch Betrachtung und Bewertung der Produktionsbedingungen, nach umweltkritischen Gesichtspunkten, geklärt werden. Ziel dieser Arbeit ist die Untersuchung, wie Emissionen einer PECVD-Anlage, zur Antireflexbeschichtung auf Si3N4 Basis, effizient behandelt werden können. In diesem Zusammenhang wurde die Eignung, eines neuentwickelten Abgasnachbehandlungssystems der Firma Edwards, überprüft. Es handelt sich dabei um ein DC-Plasmaabatement mit brennstofffreier Arbeitsweise. Ein FTIR-Spektrometer der Firma Bruker Optics lieferte die zur Bestimmung der Reinigungseffizienz notwendigen Daten. Unterschiedliche Belastungen, im Hinblick auf die eingeleiteten Schadgasmengen, wurden getestet mit dem Ergebnis, dass der Schadgasgehalt im Abgasstrom des Abatements unterhalb der Nachweisgrenze lag. Eine kurze Abschätzung der Betriebskosten zeigt, dass dieses System auch in finanzieller Hinsicht Vorteile gegenüber konventionellen Abgasbrennern mit sich bringt.
Um den Anforderungen zukünftiger Mikroprozessoren nachkommen zu können, muss der Einsatz neuer Materialien bzw. Materialsysteme in der Halbleiterindustrie überprüft werden. Ziel dieser Masterarbeit war die Optimierung eines Kobalt-MOCVD-Prozesses zur Herstel-lung von Kupferdiffusionsbarrieren in der Back-End-of-Line-Metallisierung. Unter Berücksichtigung des theoretisch zu erwartenden Einflusses der verschiedenen Pro-zessparameter auf das Beschichtungsresultat wurden separate Versuchspläne aufgestellt, deren Durchführung beschrieben und die Ergebnisse der Schichtcharakterisierung vorgestellt. Die beobachteten Auswirkungen dieser Prozessparametervariation auf das Wachstumsverhalten und die Eigenschaften der Kobaltschichten wurden diskutiert. Dabei konnte gezeigt werden, dass die Oberflächenrauheit der Kobaltschichten ausschlaggebend für ihre elektrische Leitfähigkeit war. Außerdem war es möglich vorteilhafte Einstellungen gegenüber dem Referenzprozess, sowohl für Blank- als auch Strukturscheiben, abzuleiten. Abschließend zeigten erste Untersuchungen zur direkten elektrochemischen Bekupferung der Kobaltschichten die Möglichkeit zur Integration in den bestehenden Herstellungsprozess.