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Year of publication
1989
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Document Type
Doctoral Thesis
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Institute
Technische Hochschule Zwickau
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Language
German
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Author
Schröter, Eberhard (1)
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Der Einfluß der Biasspannung und des Totaldruckes auf die Eigenschaften reaktiv gesputteter Titannitridschichten.
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Schröter, Eberhard
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