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Indiumzinnoxid ist ein transparentes und elektrisch leitfähiges Metalloxid. Es findet Anwendung in Architekturgläsern oder als transparente Elektrode in Flachbildschirmen und Solarzellen. Die dafür nötigen Dünnschichten können zum Beispiel durch Sputtern hergestellt werden. Aufgrund des hohen Gehaltes des seltenen Elementes Indium ist das Beschichtungsmaterial teuer und eine ökonomische Nutzung geboten. Im Vergleich zum DC Magnetronsputtern von der planaren Kathode, steigt durch den Einsatz einer Rohrkathode die Targetausnutzung. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden klein- und großflächige Indiumzinnoxidschichten mittels Magnetronsputtern vom keramischen Rohrtarget hergestellt. Die elektrischen und optischen Schichteigenschaften werden mit denen vom keramischen planaren Target verglichen.