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OLEDs werden zukünftig eine zunehmende Anwendung im Bereich der Beleuchtungs- und Displayanwendung finden. Für die Akzeptanz auf dem Markt müssen sie neben den physikalischen Eigenschaften wie Beleuchtungsstärke, Farbspektrum und Lebensdauer auch preislich konkurrenzfähig werden. Ein kostengünstiger und produktionstauglicher Prozess durch Bandbeschichtung von flexiblen OLEDs im Rolle-zu-Rolle-Verfahren soll entwickelt werden, um in naher Zukunft eine Fertigung von OLEDs für den allgemeinen Beleuchtungsmarkt aufzuzeigen. Qualitäts- und Leistungsoptimierung sind dabei marktentscheidend. Um Qualitätsstandards festzulegen und halten zu können, werden Untersuchungsmethoden zur Defektanalytik entwickelt. Durch Anwendung der Dünnfilmabscheidung werden hohe Anforderungen an die Rauheit und Reinheit jeder Schicht gestellt. Bereits kleinste Partikel mit einer Größe im Submikrometerbereich können sich negativ auf die optischen und elektrischen Kenngrößen und auf die Lebensdauer einer OLED auswirken. Ziel dieser Arbeit ist die Charakterisierung und Quantifizierung von Defekten auf OLED-Systemen, die Einfluss auf die elektrischen Eigenschaften haben können. Dabei geht es in erster Linie um die Einordnung in Defektklassen, um mögliche Defektursachen zu erkennen. Im weiteren Teil stellt diese Diplomarbeit das eingeführte optische Inspektionsverfahren zur automatischen Defekterkennung in einer produktionsähnlichen Umgebung vor und gibt einen Ausblick zur Programmoptimierung.