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Die vorliegende Arbeit behandelt die Konstruktion eines Molekülverdampfers für die Ab-scheidung von endohedralen Fullerenen unter Ultrahochvakuumbedingungen zur Herstellung von geeigneten Proben für die Tunnelmikroskopie. Anhand erster tunnelmikroskopischer Messergebnisse zu Er3N@C80 auf Metalloberflächen wird die Funktionsfähigkeit des Verdampfers eindrucksvoll bestätigt. Nach einer kurzen Vorstellung der abzuscheidenden endohedralen Fullerene werden die für den Verdampfungsprozess relevanten thermodynamischen Grundlagen zusammengefasst dargestellt. Anschließend wird der Aufbau des Verdampfers präsentiert. Über Betrachtungen zu den Grundlagen der Tunnelmikroskopie soll die Interpretation der im darauf folgenden Kapitel vorgestellten Messergebnisse ermöglicht werden. Rastertunnelmikroskopische und -spektroskopische Daten zu Er3N@C80 auf Wolfram Gold werden gezeigt.