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Diese Arbeit behandelt den Aufbau eines Tieftemperatur-Rastertunnelmikroskops. Dieses Mikroskop soll stabile Messungen in einem Temperaturbereich von Raumtemperatur bis hinab zu zwanzig Kelvin ermöglichen. Der Einstieg in das Themengebiet der Rastertunnelmikroskopie wird hier über einen Blick auf die theoretischen Grundlagen gegeben. Im weiteren Verlauf der Arbeit werden einige wichtige Komponenten des experimentellen Aufbaus näher beschrieben. Mit den am Ende dieser Arbeit gezeigten Messungen konnte die Funktionsfähigkeit des Rastertunnelmikroskops aufgezeigt werden.