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Es wird ein Konzept für ein Messsystem evaluiert, welches eine örtliche Elementanalyse mittels Laserinduzierter Plasmaspektroskopie (engl.: laser-induced breakdown spectroscopy) (LIBS) ermöglicht.
Das Messsystem soll in den Prozess einer Materialablation integriert werden, bei dem Material von der Oberfläche von Glasträgern mithilfe von gepulster Laserstrahlung abgetragen wird. Während dieses Ablationsprozesses soll das ablatierte Material untersucht werden und eine örtliche Auflösung der qualitativen Elementzusammensetzung erfolgen.
Für die qualitative Analyse wird das entstehende Plasma mittels LIBS untersucht. Zusätzlich wird die Position des Laserfokus auf der Oberfläche der Glasträger ermittelt und erlaubt die Ortsauflösung des Laserfokus und somit auch des entstehenden Plasmas.
Die Verknüpfung der Ortsauflösung des Laserfokus und der Detektion der Strahlung des laserinduzierten Plasmas ermöglicht dann eine ortsaufgelöste Elementanalyse. Diese Arbeit soll entscheidende Beiträge liefern, welche die Umsetzung eines solchen Systems ermöglichen.