Herstellung und Charakterisierung aluminiumbasierter Isolationsschichten
- Es erfolgte eine Untersuchung der Möglichkeit der Abscheidung von aluminiumbasierten Schichten an einer B- 30 Beschichtungsanlage. Die Abscheidung der Schichten erfolgte mittels Reaktiver Kathodenzerstäubung. Arbeitsgas war hierbei Argon. Als Reaktivgas fungierte Stickstoff. Nach erfolgreicher Schichtabscheidung (AlN) erfolgte eine Charakterisierung der so erzeugten Schichten. Untersucht wurden diese mittels REM, EDX- und XPS- Analyse.
| Author: | Tim Kaspar |
|---|---|
| Advisor: | Ullrich Reinhold |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Name: | WHZ Dr.- Friedrichs- Ring 2A, 08056 Zwickau |
| Date of Publication (online): | 2009/11/19 |
| Year of first Publication: | 2009 |
| Date of final exam: | 2009/07/30 |
| Tag: | AlN; Charakterisierung; DC- Entladung; Kathodenzerstäubung |
| Page Number: | 96 Seiten, 45 Abb., 24 Tab., 35 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2009/11/19 |
